硼酸三甲酯

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MO源领域、电子级碘甲烷和氢碘酸领域、高科技合成酸领域、多元醇酯类冷冻机油领域

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产品描述

中文名	化学式	CAS号	别名	英文名	产能情况和库存
硼酸三甲酯	C6H9BO3	121-43-7	TMB	Trimethyl borate	前驱体

硼酸三甲酯（TMB）
化学式	C6H9BO3
中文名称	硼酸三甲酯
英文名称	Trimethyl borate
CAS No.	121-43-7
分子量	103.91
应用	用作半导体扩散掺杂源，在硼硅酸盐(BSG)和硼磷硅酸盐(BPSG) 玻璃薄膜沉积中用作液相硼掺杂剂，以降低沉积玻璃的回流温度。也用于高纯硼的制备等。硼磷硅玻璃(Boro-phospho-silicate Glass，BPSG)，即掺杂了硼和磷的二氧化硅作为第一层金属前介电质(PMD)以及金属层间介电质(AVID)在IC制造中有着广泛的应用。二氧化硅原有的有序网络结构由于硼磷杂质(B2O3、P2O5 )的加入而变得疏松，在高温条件下某种程度上具有像液体一样的流动能力( Reflow )。因此BPSG薄膜具有卓越的填孔能力，并且能够提高整个硅片表面的平坦化，从而为光刻及后道工艺提供更大的工艺范围。
产品规格	9N（99.9999999%）