四（甲乙胺）铪

关键词：

MO源领域、电子级碘甲烷和氢碘酸领域、高科技合成酸领域、多元醇酯类冷冻机油领域

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产品描述

中文名	化学式	CAS号	英文简称	英文名	类别
四（甲乙胺）铪	C12H32HfN4	352535-01-4	TEMAH	Ethanamine, N-methyl-,hafnium(4+) salt (4:1)	前驱体

四（甲乙胺）铪（TEMAH）
化学式	C12H32HfN4
中文名称	四（甲乙胺）铪
英文名称	Ethanamine, N-methyl-,hafnium(4+) salt (4:1)
CAS No.	352535-01-4
分子量	410.9
应用	主要用于CVD和ALD的前驱体材料，用于沉积铪的前驱物，制备铪氧化物薄膜；可以用于COMS和下一代DRAM的高k绝缘材料，广泛应用于45nm下直至7nm技术等先进CMOS集成电路技术中。其应用于新型阻变/忆阻器件(RRAM)研究中，可展现良好的微缩特性，还可在10nm尺度下保持良好的阻变特性；在铁电存储器件(FeRAM)、铁电场效应晶体管(FeFET)、铁电负电容晶体管(NC-FET)、铁电隧道结等新功能器件制造方面表现出良好的微缩特性，为类脑型神经形态计算等变革性技术研究与发展提供新的途径。还可替代二氧化硅，作为金属-氧化物-半导体场效应晶体管(MOSFET)的栅极。
产品规格	6N（99.9999%）