四氯化钛

四氯化钛

关键词：

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MO源领域、电子级碘甲烷和氢碘酸领域、高科技合成酸领域、多元醇酯类冷冻机油领域

所属分类：

金属有机类

产品咨询：

0791-83960365

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产品描述

中文名

化学式

CAS号

英文简称

英文名

类别

四氯化钛

TiCl4

7550-45-0

TiCl4

Titanium tetrachloride

前驱体

 

 

四氯化钛（TiCl4）

化学式

TiCl4

中文名称

四氯化钛

英文名称

Titanium tetrachloride

CAS No.

 7550-45-0

分子量

189.679

应用

超大规模集成电路芯片制造中广泛地用 于沉积高品质的二氧化钛（TiO2）和氮化钛（TiN）

薄膜材料和钛金属化学气相薄膜沉积(CVD)的液相源材料。

产品规格

7N（99.99999%）

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