磷酸三甲酯

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MO源领域、电子级碘甲烷和氢碘酸领域、高科技合成酸领域、多元醇酯类冷冻机油领域

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产品描述

中文名	化学式	CAS号	别名	英文名	产能情况和库存
磷酸三甲酯	C3H9O4P	512-56-1	TMPO	Trimethyl phosphate	前驱体

磷酸三甲酯（TMPO）
化学式	C3H9O4P
中文名称	磷酸三甲酯
英文名称	Trimethyl phosphate
CAS No.	512-56-1
分子量	140.07
应用	用于在半导体应用中沉积 PSG 和 BPSG 膜。硼磷硅玻璃(Boro-phospho-silicate Glass，BPSG)，即掺杂了硼和磷的二氧化硅作为第一层金属前介电质(PMD)以及金属层间介电质(AVID)在IC制造中有着广泛的应用。二氧化硅原有的有序网络结构由于硼磷杂质(B2O3、P2O5 )的加入而变得疏松，在高温条件下某种程度上具有像液体一样的流动能力( Reflow )。因此BPSG薄膜具有卓越的填孔能力，并且能够提高整个硅片表面的平坦化，从而为光刻及后道工艺提供更大的工艺范围。
产品规格	9N（99.9999999%）