四（甲乙胺）锆

关键词：

MO源领域、电子级碘甲烷和氢碘酸领域、高科技合成酸领域、多元醇酯类冷冻机油领域

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产品描述

中文名	化学式	CAS号	英文简称	英文名	类别
四（甲乙胺）锆	C12H32N4Zr	175923-04-3	TEMAZ	Tetrakis(ethylmethylamino)zirconium	前驱体

四（甲乙胺）锆（TEMAZ）
化学式	C12H32N4Zr
中文名称	四（甲乙胺）锆
英文名称	Tetrakis(ethylmethylamino)zirconium
CAS No.	175923-04-3
分子量	323.63
应用	主要用于CVD、ALD、等离子体增强原子层沉积(PEALD)工艺，是生产ZrO2的前驱体。 ZrO2在45nm晶体管的制备中代替二氧化硅，可以显著减少漏电量，还是COMS和动态存储（DRAM）的高k绝缘材料，是目前解决动态存储和高清显示技术难题的最优选材料之一；可作阻变存储器的介质层前驱体；可作锂离子电池正极包覆沉积前驱体。
产品规格	6N（99.9999%）