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LED外延材料—MO源

LED外延材料—MO源

  • 分类:应用领域
  • 发布时间:2020-05-27 00:00:00
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LED外延材料—MO源
高纯金属有机源-MO源,是利用先进的金属有机化学气相沉积(MOCVD)或等离子增强型化学气相淀积(PECVD)或原子层沉积(ALD)等工艺生成化合物半导体材料的关键支撑原材料,因而被称为MOCVD的“前体物”,其在高温条件下与特殊气体(氮源气体、氧源气体、砷烷&磷烷等)生成高质量的薄膜材料,主要用于制造高亮度发光管(LED)、高迁移率晶体管、半导体激光器、太阳能电池等器件,并在红外探测、超高速计算机、相变存储器、射频集成电路芯片等的核心原材料之一。

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